邮政编码：255400
办公电话：+86-0533-7360197
办公传真：+86-0533-7360197
公司网址：www.henghechem.com
电子邮箱：3110107869@qq.com
联系人：梁经理
手机：15666361100
办公地点：山东省淄博市临淄大道818甲9号
销售方式：全国批发
氯化氢气体为强刺激性，不燃气体，溶水后有强烈腐蚀性。产品包装于高压专用钢瓶中，处于液态。专用钢瓶为钢质无缝气瓶，瓶内抛光处理。瓶阀为抗腐蚀不锈钢隔膜阀。钢瓶设计压力为12.5Mpa,工作压力约5-6Mpa。
氯化氢产品的生产工艺为本公司专利技术，具有自主知识产权，填补了国内高纯氯化氢产品生产空白。氯化氢产品参SEMIC3.35-1101HCl标准，并执行国家标准GB/T24469-2009(电子级)和企业标准Q/ZWDL001-2006(化学级)。氯化氢产品采用HCl专用钢瓶包装，钢瓶符合国标GB5099-1994或DOT3AA标准，瓶阀为316L不锈钢隔膜式阀，接口为CGA330。本公司提供氯化氢专用配套设施、设备、阀门、减压器，并提供优质技术服务和售后服务。
|
说明 |
用途 |
安全标示 |
|
|
装于钢瓶中的液化气体， 遇水强腐蚀性， 强刺激味， 吸入毒性， 20℃下钢瓶压力4.2MPa， 保质期：2年 |
大规模集成电路生产中，单晶硅片气相抛光，外延基座腐蚀 |
国家危险性级别：2.2 UN No.：1050 CN No.：22022 CAS No.：7647-01-0 安全警示：腐蚀性 |
职业接触限值： MAC（mg/ m3）：15 mg/ m3 安全技术说明书：030501A |
等级：VLSI 纯度：≥99.999% 检测方式：逐瓶检测
|
|
成分 |
标准值 |
实际产品 |
检测仪器 |
检测限 |
||
|
最小值 |
平均值 |
最大值 |
|||||
|
杂质 1x10-6（V/V） |
氮 |
≤2.00 |
0.20 |
0.30 |
0.40 |
DID色谱仪 |
0.001 |
|
氧+氩 |
≤1.00 |
＜0.05 |
＜0.05 |
＜0.05 |
DID色谱仪 |
0.001 |
|
|
甲烷+乙炔 |
≤1.00 |
0.10 |
0.30 |
0.60 |
DID色谱仪 |
0.001 |
|
|
一氧化碳 |
≤2.00 |
＜0.10 |
＜0.10 |
＜0.10 |
DID色谱仪 |
0.002 |
|
|
二氧化碳 |
≤2.00 |
0.20 |
0.70 |
1.00 |
DID色谱仪 |
0.002 |
|
|
水 |
≤1.00 |
＜0.30 |
＜0.30 |
＜0.40 |
精密光电露点仪 |
0.1 |
|
|
金属离子 1x10-6(W/W) |
铁 |
≤0.50 |
0.10 |
0.20 |
0.30 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
镍 |
≤0.10 |
＜0.05 |
＜0.05 |
＜0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
|
铜 |
≤0.10 |
＜0.05 |
＜0.05 |
＜0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
|
钴 |
≤0.10 |
＜0.05 |
＜0.05 |
＜0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
|
锰 |
≤0.10 |
＜0.05 |
＜0.05 |
＜0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
|
铬 |
≤0.10 |
＜0.05 |
＜0.05 |
＜0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
|
露点/℃ |
＜-76 |
-84 |
-83 |
-83 |
精密光电露点仪 |
-84 |
|
公司地址：山东省淄博市临淄大道818甲9号
